（中央社阿姆斯特丹14日综合外电报导）台积电业务开发资深副总经理张晓强今天表示，台积电的A16技术制程节点不一定需要用到艾司摩尔（ASML）高数值孔径极紫外光曝光机（High-NA EUV）。

路透社报导，张晓强今天在荷兰阿姆斯特丹的研讨会表示，A16厂的设计可能容纳High-NA EUV，但这并非确定。

台积电是艾司摩尔一般极紫外光曝光机的最大客户。

今天稍早，台积电欧洲子公司总经理狄波特（Paul de Bot）也在荷兰举行的研讨会上透露，台积电设于德国的欧洲首座厂拟于2024年第4季开始动工。

狄波特在研讨会上表示，建厂作业正著手进行中。

台积电去年8月同意投资35亿欧元（约新台币1222亿元），在德国设立该公司首座欧洲厂。（译者：刘淑琴/核稿：陈正健）1130514