（中央社记者张建中新竹16日电）工研院今天宣布，台积电捐赠工研院3部12吋半导体高阶制程开发的化学蚀刻、叠对量测与关键尺寸量测设备，提升对产业界以及学术界的服务量能，并培育半导体高阶人才，强化科技国力。

工研院电子与光电系统研究所所长张世杰表示，工研院深耕高阶半导体材料、制程、晶片设计、元件封装等技术开发，建构半导体系统设计、材料研发、元件制造、封装测试与验证等一条龙开发能量，并以「奈米电子实验室」提供产业半导体薄膜、黄光、蚀刻等制程平台。

张世杰说，台积电捐赠3部12吋半导体制程设备，将有助工研院建立新技术及新产品的开发及试制环境，进一步协助新创公司及中小企业研发新产品，让台湾在全球科技竞争力更上一层楼。

台积电技术研究副总经理曹敏说明，工研院长期建构与辅助国家半导体产业技术升级，这次借由赠与工研院3套设备包括12吋化学蚀刻设备、叠对量测设备与关键尺寸量测设备，期能提供台湾接轨全球实务研发需求。（编辑：杨兰轩）1130516