【广州增芯项目进入调试投产准备阶段 一期一阶段可年产24万片12英寸晶圆】财联社3月11日电，在广州市增城区广州增芯科技有限公司，承载着光刻机的车辆缓缓启动将设备运入厂房，这意味着12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目迎来关键节点，顺利进入调试投产准备阶段。增芯科技总经理张亮介绍，项目引进的这台光刻机产能输出速率极高，可达到260片/小时，其资金投入占整个工厂建设投资的约25%，随着光刻机进厂，正式通线量产也指日可待。据悉，增芯项目是省、市重点项目，一期总投资70亿元，打造了国内第一条12英寸智能传感器（MEMS）及特色工艺生产线，对广东集成电路产业发展意义重大。预计项目一期一阶段建成后，将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力，产品将主要应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域。 (21世纪经济报道)