美欧双方4月5日「贸易与技术委员会会议」（TTC）后发布联合声明，其中提及持续展开研究PFAS 氟烷基化合物（Perfluoroalkyl Substance, PFAS）的替代品引发关注，台厂包含台积电（2330）、崇越（5434）、华立（3010）等近年接轨国际都已采取积极作为。

依据美欧双方联合声明，双方计话继续努力寻找晶片中PFAS使用替代品的研究合作机会。例如计划探索利用人工智慧能力和数位孪生（Digital Twin）来加速发现合适材料来取代半导体制造中的PFAS。

TSIA先前指出，由于 PFAS 对环境的冲击及其持久性，愈来愈多国家在思考相关立法。美国 SIA 在美国发起 PFAS Consortium，针对 PFAS 在半导体制程中的使用及其重要性、潜在的排放途径、以及若限制 PFAS 使用可 能造成的冲击进行研究，相关论文均可在 www.spoomendonductors.org/pfas 上找到。

此外，美国 SIA 提出的 PFAS 自愿协议草案，计划开发计算 PFAS 使用和 排放的通用方法，承诺减少 PFAS 排放并分享有关 PFAS 减量的资讯。工作小组原则同意继续讨论该协议草案。 工作小组先前承诺在 2025 年消除微影中使用的 全氟辛酸（Perfluorooctanoic Acid, PFOA）。所有协会均确认在 2023 年已不再使用。工作小组将在2024 年 5 月的联合声明中公布这项成就，并由美国 SIA 草拟 WSC 致《斯德哥尔摩公约》信函， 宣布 WSC 已停止 PFOA 的使用。

回顾先前外电报导欧盟拟严管PFAS相关化学品，对于该议题，半导体级材料服务商华立、崇越已分别指出估计影响有限。崇越指出，PFAS对公司影响不大，另外已有开发替代PFAS的产品。

华立也说，华立销售的化学品未含有此成份，若未来客户也来关心此议题，就会逐一请供应商提供所有品项的成份表。

台积电先前也早在2018年对外宣布公司全面替代全氟辛酸相关物质，应对长链PFAS中的全氟辛酸（Perfluorooctanoic Acid, PFOA）积极推行PFOA相关物质替代计划，顺利于民国107年第二季完成所有替代化学品验证，并计划该年度年底前全面替代所有厂区的PFOA相关物质。当时台积电在ESG电子报也指出，目前世界各国包括台湾在内均已立法管制PFOS、PFOA及其相关物质，台积公司亦采取积极防范作为。