台积电（2330）30日更新ESG电子报提到，公司致力实践《环境保护政策》以达环境零冲击目标，积极强化空污防制设备监测效能，创新研发「空污快筛即时感测仪」提升检测处理效率，透过特殊电极结构感测气体物理讯号，可同时检测氨、氢氟酸、盐酸、硫酸、硝酸5种气体，并同步连接「厂务监控及数据收集系统」进行线上连续式监测，使数据取得时间由1周大幅缩短为1分钟，更即时掌握并处理异常污染源。

台积电统计，截至民国113年4月，已导入晶圆二厂、晶圆五厂、晶圆十五A厂、晶圆十八A厂、晶圆十八B厂，精进空污防制效益并友善环境。

台积电指出，公司过往以人工采样分析方式进行全厂烟道检测、排放溯源调查及现址式处理设备效能验证作业，为更有效掌握烟道污染状况及改善成效，民国112年1月开发空污快筛即时感测仪，将交变电流共振固体与气体感测技术应用于制作酸碱排气即时感测器，自主设计特殊电极结构，当气体与电极接触时，可借由交流电感测特定共振讯号与强度变化，达到快速辨识污染源类别及浓度的效果。

此外，不同于人工采样仅能呈现单一时间点的非即时数据，空污快筛即时感测仪可同步对接厂务监控及数据收集系统，以即时（Real time）、原位（In situ）、连续式（Continuously）监测与图表形式呈现数据趋势，除更快发现异常污染源并进行溯源追踪，还能依烟道排放气体的物种及浓度，评估投入中央式处理设备的药剂最适量，精准调整酸碱值、导电度并控制清洗水量，不仅优化处理程序、妥善运用药剂资源，亦降低现场作业人员采样暴露酸碱气体的风险。

台积电强调，秉持零排放的绿色愿景，台积公司除持续进行晶圆三厂、晶圆六厂、晶圆十二厂第1期、第7期及第8期厂区的空污快筛即时感测仪装设作业外，预计民国115年导入所有台湾与海外厂区；同时评估监测氯气、含氟化物、氮氧化物等气体的可行性与效益，以及将感测仪应用于空品车周界监测分析，致力落实空污减量，为台积公司友善环境、永续经营理念贡献一份心力。