第一财经 - 正在 ( ) • 2024-06-26 08:16
国海证券：电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展 | 国海证券表示，随着集成电路工艺节点减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏...
国海证券 关键 密度 工艺
国海证券：电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展 | 国海证券表示，随着集成电路工艺节点减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升，受益加速电压下的波长优势，电子束检测技术精度较高，且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向，半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数，电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展。
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