真空传感器：当真空压力低于大气压时，很难用机械方法检测，所以采用真空传感器，这些传感器通常取决于电阻与温度相关的加热丝。
工采网代理了瑞士Neroxis 热导式气体传感器MTCS2601，可以检测真空度，该传感器结合了低功耗 CMOS 标准集成电路，非常适合 OEC厂商的泄漏检测，或者基于帕拉尼原理的真空度检测，需要超低功耗，长寿命和免维护的产品。
另外还有Posifa 微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列，依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理，微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化，这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变，与气体热导率相关 ... 阅读全文
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另外还有Posifa 微型皮拉尼真空传感器PVC1000系列，依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理，微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化，这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变，与气体热导率相关 ... 阅读全文