彼时,南大光电便宣称,计划用3年的时间实现ArF光刻胶产品的建设、投产和销售,最终达到年产25吨193nm ArF光刻胶产品的生产规模。
2020年12月,南大光电发布公告称,其控股子公司 宁波南大光电自主研发的ArF(193nm)光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。
2021年5月,南大光电表示自主研发的ArF光刻胶产品继2020年12月在一家存储芯片制造企业的50nm闪存平台上通过认证后,又在逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破 ... 阅读全文
2020年12月,南大光电发布公告称,其控股子公司 宁波南大光电自主研发的ArF(193nm)光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。
2021年5月,南大光电表示自主研发的ArF光刻胶产品继2020年12月在一家存储芯片制造企业的50nm闪存平台上通过认证后,又在逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破 ... 阅读全文
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