IT之家 8 月 24 日消息 据 ASML 官方科普，从光源开始，沿着光路包括照明模组、投影物镜模组以及浸润式光刻，另外在光刻机内，还有另一个“大神”，它聚集了光刻机中最重要的运动部件，是系统的机械“心脏”，它就是晶圆平台模组（Wafer stage module）。
而晶圆从传送模组传送并放置在晶圆平台上，会产生一定的机械误差，而精密机械的误差是微米等级（1 微米 = 1,000 纳米），也就是说每片晶圆上了晶圆平台，总是有个数千纳米以上的偏移。
晶圆在量测端完成了极精密的量测，还需要在极短的曝光时间内，完美定位，这就要靠精密机械运作，和实时的定位校正了 ... 阅读全文
而晶圆从传送模组传送并放置在晶圆平台上，会产生一定的机械误差，而精密机械的误差是微米等级（1 微米 = 1,000 纳米），也就是说每片晶圆上了晶圆平台，总是有个数千纳米以上的偏移。
晶圆在量测端完成了极精密的量测，还需要在极短的曝光时间内，完美定位，这就要靠精密机械运作，和实时的定位校正了 ... 阅读全文
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