据维科网了解，华卓精科以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务，其中超精密测控设备部件产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等，整机产品包括晶圆级键合设备、激光退火设备等。
公司主要产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，以及上述部分主要产品的技术开发服务。
据悉，在光刻机双工件台技术方面，华卓精科DWS系列光刻机双工件台可实现优于4．5nm的运动平均偏差，已于2020年4月和2021年1月、4月、6月分别向上海微电子发货1台 DWS双工件台，累计发货4台DWS双工件台，目前仍处于与上海微电子光刻机整机集成、测试阶段，尚未通过上海微电子最终验收 ... 阅读全文
公司主要产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，以及上述部分主要产品的技术开发服务。
据悉，在光刻机双工件台技术方面，华卓精科DWS系列光刻机双工件台可实现优于4．5nm的运动平均偏差，已于2020年4月和2021年1月、4月、6月分别向上海微电子发货1台 DWS双工件台，累计发货4台DWS双工件台，目前仍处于与上海微电子光刻机整机集成、测试阶段，尚未通过上海微电子最终验收 ... 阅读全文