36氪 - 快讯 ( ) • 2022-08-03 18:06
36氪获悉,至纯科技公告称,近日,公司和全资子公司上海至纯系统集成有限公司、至纯科技有限公司作为联合体牵头人,中标长江存储科技有限责任公司国家存储器基地项目特殊气体系统包。中标价格:2.76亿元。标的主要内容为各类工艺气体(含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺)的特气设备,即工艺支持性设备,标的包含设计、安装和调试等服务。