（中央社记者曾以宁高雄2日电）高市府地方型SBIR计划协助新创公司「埃尔思科技」研发10奈米以下客制奈米探针，作为先进半导体制程检测设备关键耗材，获半导体大厂采购，今年奈米探针订单逾新台币300万元。
高雄市政府经发局今天新闻稿指出，埃尔思董事长兼总经理张维哲拥有成大机械博士学位，曾任职中研院物理所，2019年在高雄成立埃尔思科技（ALES Tech），专精电化学与表面处理技术，投入先进半导体制程测试相关设备研发，2020年获高雄市「地方产业创新研发推动计划（地方型SBIR）」补助。
张维哲指出，公司取名埃尔思ALES（Atomic Level Emission Source）指原子尺寸的场发射光源，正是公司核心技术「单原子针尖制造技术」的缩写，因应半导体市场需求，开发针尖曲率更小的奈米探针用于电性检测，作为先进半导体制程检测设备关键耗材，掌握商机。
同时与国际大厂合作开发，用于先进半导体晶圆检测、电路修补与特征加工，原子等级的气体场离子源聚焦离子束设备（GFIS-FIB），目前已取得美国专利，第一代设备预计于2024年上市。
请输入正确的电子信箱格式张维哲说，感谢高雄市政府经发局补助提升公司研发量能，并透过进驻KO-IN智高点的诚研创新科技投资育成公司，给予投资、合作与技术探勘，争取科研创业资源，推动技术商业化。今年除取得逾300万元奈米探针订单，也将积极与代理商合作布局东南亚及其他海外市场，持续精进核心技术，维持业界领先地位。
经发局长廖泰翔指出，半导体是台湾关键产业，为维持台湾半导体领先地位，市长陈其迈上任后配合中央推动南部半导体S廊带计划，招募台积电、默克、英特格等大厂落地，也成立S廊带产学大联盟，结合产官学界资源，增加产业链韧性与弹性，将持续媒合新创与大厂，以大带小加速产业转型升级。（编辑：谢雅竹）1111202
